常州市新北区无尘车间为什么要控制温湿度?有哪些原因?

常州市新北区无尘车间为什么要控制温湿度?有哪些原因?

2020-08-26 18:12:45 2

常州市新北区无尘车间为什么要控制温湿度?有哪些原因?

  常州市新北区无尘车间的温湿度主要是依据加工工艺要求来承认,在满足加工工艺的条件下,首选应该考虑人的舒适感。跟着空气洁净度要求的进步,工艺对温湿度的要求也越来越高,有必要抵达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性胀大,所以有必要有±0.1度的恒温,一起要求湿度值一般较低,因为人出汗往后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜逾越25度。湿度过高发生的问题更多。相对湿度逾越55%时,冷却水管壁上会结露,假设发生在精细设备或电路中,就会引起各种事端。相对湿度在50%时易生锈。

常州市新北区无尘车间为什么要控制温湿度?有哪些原因?

  无尘车间厂房主体结构的耐久性要与室内配备、装饰水平和谐,并要具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷功用。修建伸缩缝要防止穿过洁净区。放射性药品出产厂房应要契合国家关于辐射防护的有关法律法规。工厂装饰认为洁净区内通道要有恰当宽度,以利于物料运送、设备设备、检修等。修建平面和空间布局要具有恰当的灵活性。洁净区的主结构不宜选用内墙承重。送风道、回风道、回风地沟的表面装饰应要与整个送、回风体系相适应,并易于除尘。洁净区的室内装饰要选用气密性杰出,且在温度和湿度改变的效果下变形小的资料。

  可是关于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需求坚持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的坚持一般应该契合以下几种准则:

  1、常州市新北区无尘室洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。

  2、相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。无尘空间的压力要高于非洁净空间的压力。

  压力差的坚持依托新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义便是漏泄(或浸透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

  关于乱流洁净室因为主要靠空气的稀释效果来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有几点要求:

常州市新北区无尘车间为什么要控制温湿度?有哪些原因?

  1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间比较,要求速度衰减更快,涣散角度更大。

  2、水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,避免吹起表面微粒重返气流,而形成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。

  在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规则的垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s,水平平行流(层流)洁净室≥0.35m/s。

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标签: 控制 原因
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